Pre-aligner:中文名:視覺(jué)尋邊機(jī),晶圓預(yù)定位系統(tǒng)視覺(jué)版、晶圓校準(zhǔn)器,本設(shè)備實(shí)現(xiàn)高精度高效率的6-12寸晶圓Wafer的中心以及平邊(缺口)的預(yù)定位,服務(wù)于晶圓Wafer的傳送搬運(yùn)需求。我們的視覺(jué)尋邊機(jī),定中心的精度是01mm以?xún)?nèi),定Notch精度是±0.35度,定Flat精度是±0.35度,適用于,透明,半透明,非透明的缺角,平邊,多邊形等晶圓片。