Load Port：中文名：晶圓裝卸機(jī)/晶圓載入機(jī)，是廈門蚨祺自動化設(shè)備有限公司自主研發(fā)的一套設(shè)備系統(tǒng)，Load Port被安裝在EFEM* 前（設(shè)備前端模塊：Equipment Front End Module)，用來作為wafer進(jìn)出EFEM的窗口；用于工具自動化的智能且靈活的工廠接口模塊； Load Port（晶圓裝卸機(jī)/晶圓載入機(jī)）支持卓越的可靠性和超凈性能；最大程度地實現(xiàn)交互操作性，無縫互換性和易于配置；Load Port（晶圓裝卸機(jī)/晶圓載入機(jī)）與所有手動或通過AMHS車輛交付的符合SEMI要求的FOUP和自動前開式裝運(yùn)箱（FOSB）兼容；在搬運(yùn)過程中用來保持wafer的潔凈度。

廈門蚨祺自動化設(shè)備有限公司的Load Port晶圓裝卸機(jī)，完成了適用于中國市場的設(shè)計、組裝、調(diào)試。擁有來自于日本、中國、國內(nèi)頂級科研院所及豐富半導(dǎo)體設(shè)備制造經(jīng)驗的技術(shù)團(tuán)隊組成，共同致力于被國外壟斷的關(guān)鍵零部件的自主研發(fā)，解決卡脖子問題。蚨祺Load Port裝卸器均為自主品牌及技術(shù)，打破現(xiàn)有國產(chǎn)設(shè)備拼裝國外核心零部件的尷尬境地，真正實現(xiàn)填補(bǔ)國產(chǎn)零部件的空白。

Load Port晶圓裝卸機(jī)設(shè)備屬于半導(dǎo)體制造設(shè)備相關(guān)設(shè)備中制程晶圓傳送設(shè)備、制程間晶圓傳送設(shè)備系列，為晶圓制造設(shè)備細(xì)分領(lǐng)域，目前主要被日本和美國設(shè)備企業(yè)壟斷。蚨祺自動化有多年設(shè)備大廠業(yè)績經(jīng)驗，對搬運(yùn)系統(tǒng)設(shè)備有豐富的研發(fā)，設(shè)計，制造及維修經(jīng)驗。

?Load Port（晶圓裝卸機(jī)/晶圓載入機(jī)）有以下主要特點：

1.適用卡塞規(guī)格(Cassette Type): 8” Cassette & 12” 25 slot Wafer FOUP/FOSB SEMI E1.9 / M31；

2.放置標(biāo)準(zhǔn)(Mounting): SEMI E63；

3.開啟方式(Opener Type): SEMI E62 / Front open ；

4.平臺高度標(biāo)準(zhǔn)(FOUP/FOSB Load Height): SEMI E1.5 / E63；

5.內(nèi)置凸出檢測；

6.RFID自動識別；

7.操作安全防護(hù)報警；

8.封閉式作業(yè)環(huán)境;

?Load Port（晶圓裝卸機(jī)/晶圓載入機(jī)）的主要配置：

載臺移載單元；

自動開蓋單元；

RFID讀取單元；

安全防護(hù)系統(tǒng)；

運(yùn)動控制系統(tǒng)；

模塊化設(shè)計。

廈門蚨祺自動化設(shè)備有限公司，主要經(jīng)營范圍為LCD、半導(dǎo)體行業(yè)自動化方案實施，視覺與光學(xué)檢測設(shè)備研發(fā)與制造，產(chǎn)品覆蓋晶Pre-Aligner/晶圓預(yù)定位系統(tǒng)/晶圓校準(zhǔn)器、Load Port/晶圓裝卸機(jī)/晶圓載入機(jī)、LCD、點膠設(shè)備、老化設(shè)備，檢測設(shè)備、自動上下料設(shè)備、半導(dǎo)體EFEM設(shè)備，非標(biāo)客制化設(shè)備等。公司成立于2014年,注冊資本2000萬元。廠房面積總共3500㎡，其中潔凈車間1500㎡，加工中心1000㎡，辦公區(qū)域1000㎡，是一家集研發(fā),生產(chǎn),銷售和服務(wù)為一體的國家高新技術(shù)企業(yè)。

廈門市級高新技術(shù)企業(yè)

國家高新技術(shù)企業(yè)

FANUC智能機(jī)器人代理

廈門蚨祺自動化以客戶為中心，秉承客戶滿意、技術(shù)過硬、品質(zhì)至上的原則，以專業(yè)的技術(shù)優(yōu)勢為客戶解決生 產(chǎn)中的工藝難題.憑借卓越的研發(fā),生產(chǎn)能力，高速反應(yīng)能力及優(yōu)質(zhì)的服務(wù)而在客戶中形成良好的口碑及贊譽(yù)，公 司擁有專業(yè)的技術(shù)研發(fā)團(tuán)隊，積累了多年的設(shè)備研究成果和豐富的自動化制造經(jīng)驗。目前，本公司自主研發(fā)已經(jīng) 獲得8項實用新型專利證書和19項軟件著作權(quán)。