Load Port:中文名:晶圓裝卸機/晶圓載入機,是廈門蚨祺自動化設(shè)備有限公司自主研發(fā)的一套智能自動化設(shè)備系統(tǒng),有助于企業(yè)搬運和傳送作業(yè)。
?Load Port(晶圓裝卸機/晶圓載入機)的主要配置:載臺移載單元;自動開蓋單元;RFID讀取單元;安全防護系統(tǒng);運動控制系統(tǒng);模塊化設(shè)計。
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