Pre-aligner:中文名:視覺尋邊機(jī),晶圓預(yù)定位系統(tǒng)視覺版、晶圓校準(zhǔn)器,本設(shè)備實(shí)現(xiàn)高精度高效率的6-12寸晶圓Wafer的中心以及平邊(缺口)的預(yù)定位,服務(wù)于晶圓Wafer的傳送搬運(yùn)需求。我們的視覺尋邊機(jī),定中心的精度是01mm以內(nèi),定Notch精度是±0.35度,定Flat精度是±0.35度,適用于,透明,半透明,非透明的缺角,平邊,多邊形等晶圓片。
主要特點(diǎn):
1.適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備、檢測(cè)設(shè)備的晶圓位置預(yù)校準(zhǔn);
2.非接觸式預(yù)定位晶圓;
3.兼容SEMI標(biāo)準(zhǔn) 150~300mm晶圓&透明晶圓(中心無鏤空);
4.兼容SEMI標(biāo)準(zhǔn)Notch/ Flat;
5.兼容透明晶圓(D款);
6.可定中心及找Mark(Flat Edge/Notch)標(biāo)志;
7.讀碼位置:6-12寸可背面讀刻號(hào),6寸以下僅正面讀刻號(hào);
8.暫不支持中心有鏤空的晶圓;
9.SEMI S2認(rèn)證
主要配置:
?PC視覺系統(tǒng)
廈門蚨祺自動(dòng)化設(shè)備有限公司的這套視覺尋邊機(jī),有其特色功能配置和特點(diǎn),能很好的滿足現(xiàn)在許多工廠在實(shí)現(xiàn)交互操作的需求,具有很大的市場(chǎng)空間。