8-12寸晶圓檢驗(yàn)機(jī)（切割前）
8-12寸晶圓檢驗(yàn)機(jī)（切割前）
功能介紹
全自動(dòng)Wafer傳送，可用于12寸wafer進(jìn)行PA、ID Reader、宏觀檢測(cè)、微觀檢測(cè)，半導(dǎo)體各生產(chǎn)設(shè)備的上料、下料，F(xiàn)OSB、FOUP相互交換等
規(guī)格參數(shù)
主要配置
雙臂Wafer搬運(yùn)機(jī)器人，非接觸Pre Aligner，Wafer ID Reader，高像素金相顯微鏡，XY全自動(dòng)E-Mapping 導(dǎo)引檢測(cè)
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Wafer Transfer TS-1200
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8-12寸晶圓檢驗(yàn)機(jī)（切割后）
公司地址：廈門(mén)火炬高新區(qū)(翔安)產(chǎn)業(yè)區(qū) 翔安北路3689號(hào)(廠房A)101-1 |
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