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8-12寸晶圓檢驗(yàn)機(jī)(切割前)

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8-12寸晶圓檢驗(yàn)機(jī)(切割前)

功能介紹

    全自動(dòng)Wafer傳送,可用于12寸wafer進(jìn)行PA、ID Reader、宏觀檢測(cè)、微觀檢測(cè),半導(dǎo)體各生產(chǎn)設(shè)備的上料、下料,F(xiàn)OSB、FOUP相互交換等


規(guī)格參數(shù)

image.png

主要配置

    雙臂Wafer搬運(yùn)機(jī)器人,非接觸Pre Aligner,Wafer ID Reader,高像素金相顯微鏡,XY全自動(dòng)E-Mapping 導(dǎo)引檢測(cè)


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