晶圓預(yù)定位系統(tǒng)/晶圓校準(zhǔn)器：英文名Pre-aligner。是廈門蚨祺自動化設(shè)備有限公司自主研發(fā)的一套設(shè)備系統(tǒng)，本設(shè)備實現(xiàn)高精度高效率的4-12寸晶圓Wafer的中心以及平邊（缺口）的預(yù)定位，服務(wù)于晶圓Wafer的傳送搬運需求。

晶圓預(yù)定位系統(tǒng)/晶圓校準(zhǔn)器主要配置如下：
? Laser sensor
?內(nèi)置模塊化步進電機、驅(qū)動和脈沖發(fā)生器
?串口類型：USB串口
?模塊化設(shè)計

晶圓預(yù)定位系統(tǒng)/晶圓校準(zhǔn)器有以下特點：
1.適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備、檢測設(shè)備的晶圓位置預(yù)校準(zhǔn)；
2.非接觸式預(yù)定位晶圓；
3.兼容SEMI標(biāo)準(zhǔn) 100~300mm晶圓&透明晶圓（中心無鏤空）；
4.兼容SEMI標(biāo)準(zhǔn)Notch/ Flat；
5.兼容透明晶圓（選配）；
6.可定中心及找Mark標(biāo)志；
7.讀碼位置：8-12寸可背面讀刻號，6寸以下僅正面讀刻號；
8.暫不支持中心有鏤空的晶圓;
9.SEMI S2認證