Load Port：中文名：晶圓裝卸機(jī)/晶圓載入機(jī)，是廈門(mén)蚨祺自動(dòng)化設(shè)備有限公司自主研發(fā)的一套設(shè)備系統(tǒng)，Load Port被安裝在EFEM* 前（設(shè)備前端模塊：Equipment Front End Module)，用來(lái)作為wafer進(jìn)出EFEM的窗口；用于工具自動(dòng)化的智能且靈活的工廠接口模塊； Load Port（晶圓裝卸機(jī)/晶圓載入機(jī)）支持卓越的可靠性和超凈性能；最大程度地實(shí)現(xiàn)交互操作性，無(wú)縫互換性和易于配置；Load Port（晶圓裝卸機(jī)/晶圓載入機(jī)）與所有手動(dòng)或通過(guò)AMHS車(chē)輛交付的符合SEMI要求的FOUP和自動(dòng)前開(kāi)式裝運(yùn)箱（FOSB）兼容；在搬運(yùn)過(guò)程中用來(lái)保持wafer的潔凈度。

?Load Port（晶圓裝卸機(jī)/晶圓載入機(jī)）有以下主要特點(diǎn)：

1.適用卡塞規(guī)格(Cassette Type): 8” Cassette & 12” 25 slot Wafer FOUP/FOSB SEMI E1.9 / M31；
2.放置標(biāo)準(zhǔn)(Mounting): SEMI E63；
3.開(kāi)啟方式(Opener Type): SEMI E62 / Front open ；
4.平臺(tái)高度標(biāo)準(zhǔn)(FOUP/FOSB Load Height): SEMI E1.5 / E63；
5.內(nèi)置凸出檢測(cè)；
6.RFID自動(dòng)識(shí)別；
7.操作安全防護(hù)報(bào)警；
8.封閉式作業(yè)環(huán)境;

?Load Port（晶圓裝卸機(jī)/晶圓載入機(jī)）的主要配置：
載臺(tái)移載單元；
自動(dòng)開(kāi)蓋單元；
RFID讀取單元；
安全防護(hù)系統(tǒng)；
運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)；
模塊化設(shè)計(jì)。

廈門(mén)蚨祺自動(dòng)化設(shè)備有限公司的這套Load Port（晶圓裝卸機(jī)/晶圓載入機(jī)）有其特色功能配置和特點(diǎn)，能很好的滿足現(xiàn)在許多工廠在實(shí)現(xiàn)交互操作的需求，具有很大的市場(chǎng)空間。