晶圓校準(zhǔn)器的主要配置有哪些？
欄目：公司新聞
發(fā)布時(shí)間：2024-11-19
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今天我們來(lái)聊聊蚨祺自動(dòng)化的晶圓校準(zhǔn)器有哪些主要配置。
晶圓校準(zhǔn)器，本設(shè)備實(shí)現(xiàn)高精度高效率的4-12寸晶圓Wafer的中心以及平邊（缺口）的預(yù)定位，服務(wù)于晶圓Wafer的傳送搬運(yùn)需求。
晶圓校準(zhǔn)器有哪些主要配置：
Laser sensor
內(nèi)置模塊化步進(jìn)電機(jī)、驅(qū)動(dòng)和脈沖發(fā)生器
串口類(lèi)型：USB串口
模塊化設(shè)計(jì)
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