Load Port被安裝在EFEM* 前（設(shè)備前端模塊：Equipment Front End Module)，用來作為wafer進(jìn)出EFEM的窗口；用于工具自動化的智能且靈活的工廠接口模塊； 支持卓越的可靠性和超凈性能；最大程度地實(shí)現(xiàn)交互操作性，無縫互換性和易于配置；與所有手動或通過AMHS車輛交付的符合SEMI要求的FOUP和自動前開式裝運(yùn)箱（FOSB）兼容；在搬運(yùn)過程中用來保持wafer的潔凈度。

?Load Port（晶圓裝卸機(jī)/晶圓載入機(jī)）的主要特點(diǎn)

1. 適用卡塞規(guī)格(Cassette Type): 8” Cassette & 12” 25 slot Wafer FOUP/FOSB SEMI E1.9 / M31；
   2.放置標(biāo)準(zhǔn)(Mounting): SEMI E63；
   3.開啟方式(Opener Type): SEMI E62 / Front open ；
   4.平臺高度標(biāo)準(zhǔn)(FOUP/FOSB Load Height): SEMI E1.5 / E63；
   5.內(nèi)置凸出檢測；
   6.RFID自動識別；
   7.操作安全防護(hù)報警；
   8.封閉式作業(yè)環(huán)境;

   9.支持semi E84協(xié)議功能

?Load Port（晶圓裝卸機(jī)/晶圓載入機(jī)）的主要配置
載臺移載單元；
自動開蓋單元；
RFID讀取單元；
安全防護(hù)系統(tǒng)；
運(yùn)動控制系統(tǒng)；
模塊化設(shè)計；

增肌了沖氮?dú)獗Ｗo(hù)功能；