Load Port被安裝在EFEM* 前（設備前端模塊：Equipment Front End Module)，用來作為wafer進出EFEM的窗口；用于工具自動化的智能且靈活的工廠接口模塊； 支持卓越的可靠性和超凈性能；最大程度地實現(xiàn)交互操作性，無縫互換性和易于配置；與所有手動或通過AMHS車輛交付的符合SEMI要求的FOUP和自動前開式裝運箱（FOSB）兼容；在搬運過程中用來保持wafer的潔凈度。

?Load Port（晶圓裝卸機/晶圓載入機）的主要特點

1. 適用卡塞規(guī)格(Cassette Type): 8” Cassette & 12” 25 slot Wafer FOUP/FOSB SEMI E1.9 / M31；
   2.放置標準(Mounting): SEMI E63；
   3.開啟方式(Opener Type): SEMI E62 / Front open ；
   4.平臺高度標準(FOUP/FOSB Load Height): SEMI E1.5 / E63；
   5.內(nèi)置凸出檢測；
   6.RFID自動識別；
   7.操作安全防護報警；

   8.封閉式作業(yè)環(huán)境;

      9.支持semi E84協(xié)議功能

?Load Port（晶圓裝卸機/晶圓載入機）的主要配置
載臺移載單元；
自動開蓋單元；
RFID讀取單元；
安全防護系統(tǒng)；
運動控制系統(tǒng)；
模塊化設計。