視覺尋邊機(jī)【wafer Pre-Aligner（OCR）】
視覺尋邊機(jī)【wafer Pre-Aligner（OCR）】
Pre-aligner：中文名：視覺尋邊機(jī)，晶圓預(yù)定位系統(tǒng)視覺版、晶圓校準(zhǔn)器，本設(shè)備實(shí)現(xiàn)高精度高效率的6-12寸晶圓Wafer的中心以及平邊（缺口）的預(yù)定位，服務(wù)于晶圓Wafer的傳送搬運(yùn)需求。我們的視覺尋邊機(jī)，定中心的精度是0.1mm以內(nèi)，定Notch精度是±0.1度,定Flat精度是±0.1度，適用于，透明，半透明，非透明的缺角，平邊，多邊形等晶圓片。
主要特點(diǎn)：
1.適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備、檢測(cè)設(shè)備的晶圓位置預(yù)校準(zhǔn)；
2.非接觸式預(yù)定位晶圓；
3.兼容SEMI標(biāo)準(zhǔn) 150~300mm晶圓&透明晶圓（中心無(wú)鏤空）；
4.兼容SEMI標(biāo)準(zhǔn)Notch/ Flat；
5.兼容6-12寸透明晶圓，半透明晶圓，非透明晶圓（D款）；
6.可定中心及找Mark（Flat Edge/Notch）標(biāo)志；
7.增加了OCR讀碼功能，
8.暫不支持中心有鏤空的晶圓;
主要配置：
?PC視覺系統(tǒng)
?內(nèi)置模塊化步進(jìn)電機(jī)、驅(qū)動(dòng)和脈沖發(fā)生器
?串口類型：USB串口
?模塊化設(shè)計(jì)
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側(cè)邊點(diǎn)膠機(jī)
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夾持尋邊機(jī)【wafer Pre-Aligner（夾持版）】
公司地址：廈門火炬高新區(qū)(翔安)產(chǎn)業(yè)區(qū) 翔安北路3689號(hào)(廠房A)101-1 |
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