Load Port：中文名：晶圓裝卸機(jī)、晶圓載入機(jī)，被安裝在EFEM* 前（設(shè)備前端模塊：Equipment Front End Module)，用來(lái)作為wafer進(jìn)出EFEM的窗口；用于工具自動(dòng)化的智能且靈活的工廠接口模塊； 支持卓越的可靠性和超凈性能；最大程度地實(shí)現(xiàn)交互操作性，無(wú)縫互換性和易于配置；與所有手動(dòng)或通過(guò)AMHS車輛交付的符合SEMI要求的FOUP和自動(dòng)前開(kāi)式裝運(yùn)箱（FOSB）兼容；在搬運(yùn)過(guò)程中用來(lái)保持wafer的潔凈度。 那么蚨祺的這套自動(dòng)化設(shè)備價(jià)格為什么會(huì)相對(duì)較高呢？因?yàn)橛械目蛻粜枨鬄榉菢?biāo)準(zhǔn)化定制。
       Load Port非標(biāo)化生產(chǎn)價(jià)格相對(duì)高的具體原因如下：
       1、非標(biāo)自動(dòng)化設(shè)備可以依據(jù)客戶的需求來(lái)做設(shè)計(jì)，讓設(shè)備達(dá)到客戶想要的作用，在可完成的技術(shù)水平范圍內(nèi)滿足客戶的各種要求。不同類型客戶其工藝要求均不相同，定制制造從拿到數(shù)據(jù)--設(shè)計(jì)--出方案--采購(gòu)材料--出產(chǎn)--安裝耗時(shí)會(huì)比規(guī)范自動(dòng)化設(shè)備要更長(zhǎng)一些。

2、非標(biāo)自動(dòng)化設(shè)備更注重模塊化：由于每個(gè)使用者都可以依據(jù)自己的不同需求進(jìn)行產(chǎn)品的定制。非標(biāo)自動(dòng)化設(shè)備在這方面就充分體現(xiàn)了其優(yōu)越性，由于只有一個(gè)模塊，所以能夠更好的發(fā)揮這個(gè)模塊的功能。