伴隨著機(jī)械自動(dòng)化的崛起，數(shù)智化的出產(chǎn)制作模式已是大勢(shì)所趨。當(dāng)下，自動(dòng)化及柔性出產(chǎn)是制作業(yè)企業(yè)正在致力于去實(shí)現(xiàn)的目標(biāo)，引入移動(dòng)智能化設(shè)備是半導(dǎo)體職業(yè)進(jìn)步工廠(chǎng)自動(dòng)化與信息化的要害行動(dòng)。在萬(wàn)億的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，智能自動(dòng)化設(shè)備正在協(xié)助打通出產(chǎn)與物流的自動(dòng)化，不只能夠習(xí)慣高頻的產(chǎn)線(xiàn)變化，還能降低出產(chǎn)成本。不過(guò)，值得注意的是，半導(dǎo)體職業(yè)的作業(yè)環(huán)境亦對(duì)自動(dòng)化設(shè)備提出了非常嚴(yán)苛的要求，如要求不影響產(chǎn)線(xiàn)節(jié)拍、清潔作業(yè)、防震作業(yè)、高精度作業(yè)等。
       在半導(dǎo)體產(chǎn)線(xiàn)當(dāng)中，能夠同時(shí)實(shí)現(xiàn)“四肢”兩項(xiàng)功用的復(fù)合型機(jī)器人，現(xiàn)已逐漸成為了半導(dǎo)體職業(yè)使用中被廣泛使用的老練智能設(shè)備。相同的，對(duì)于移動(dòng)機(jī)器人企業(yè)而言，半導(dǎo)體職業(yè)相同也是極具想象空間的紅海商場(chǎng)。
       在半導(dǎo)體行業(yè)，廈門(mén)蚨祺自動(dòng)化設(shè)備有限公司的Pre-aligner和Load Port在為企業(yè)實(shí)現(xiàn)傳送搬運(yùn)自動(dòng)化車(chē)間有很大幫助。

Pre-aligner：中文名：晶圓預(yù)定位系統(tǒng)、晶圓校準(zhǔn)器，本設(shè)備實(shí)現(xiàn)高精度高效率的4-12寸晶圓Wafer的中心以及平邊（缺口）的預(yù)定位，服務(wù)于晶圓Wafer的傳送搬運(yùn)需求。

Load Port：中文名：晶圓裝卸機(jī)、晶圓載入機(jī)，被安裝在EFEM* 前（設(shè)備前端模塊：Equipment Front End Module)，用來(lái)作為wafer進(jìn)出EFEM的窗口。用于工具自動(dòng)化的智能且靈活的工廠(chǎng)接口模塊； 支持卓越的可靠性和超凈性能；最大程度地實(shí)現(xiàn)交互操作性，無(wú)縫互換性和易于配置；與所有手動(dòng)或通過(guò)AMHS車(chē)輛交付的符合SEMI要求的FOUP和自動(dòng)前開(kāi)式裝運(yùn)箱（FOSB）兼容；在搬運(yùn)過(guò)程中用來(lái)保持wafer的潔凈度。
       相信在不久的將來(lái)，半導(dǎo)體智能化設(shè)備打造出無(wú)人車(chē)間，將會(huì)給企業(yè)用工成本降低帶來(lái)巨大紅利。