視覺尋邊機(jī)的主要特點(diǎn)
欄目：公司新聞
發(fā)布時(shí)間：2023-10-07
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視覺尋邊機(jī)，晶圓預(yù)定位系統(tǒng)視覺版、晶圓校準(zhǔn)器，本設(shè)備實(shí)現(xiàn)高精度高效率的6-12寸晶圓Wafer的中心以及平邊（缺口）的預(yù)定位，服務(wù)于晶圓Wafer的傳送搬運(yùn)需求。我們的視覺尋邊機(jī)，定中心的精度是01mm以內(nèi)，定Notch精度是±0.35度,定Flat精度是±0.35度，適用于，透明，半透明，非透明的缺角，平邊，多邊形等晶圓片。
視覺尋邊機(jī)（Pre-aligner）的主要特點(diǎn)：
1.適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備、檢測(cè)設(shè)備的晶圓位置預(yù)校準(zhǔn)；
2.非接觸式預(yù)定位晶圓；
3.兼容SEMI標(biāo)準(zhǔn) 150~300mm晶圓&透明晶圓（中心無鏤空）；
4.兼容SEMI標(biāo)準(zhǔn)Notch/ Flat；
5.兼容透明晶圓（D款）；
6.可定中心及找Mark（Flat Edge/Notch）標(biāo)志；
7.讀碼位置：6-12寸可背面讀刻號(hào)，6寸以下僅正面讀刻號(hào)；
8.暫不支持中心有鏤空的晶圓;
9.SEMI S2認(rèn)證
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