蚨祺 ＃ load port ＃ 晶圓載入機(jī) ＃ 晶圓裝卸機(jī)

打破國外技術(shù)壟斷！價(jià)格只要國外產(chǎn)品一半不到！進(jìn)口替代最佳產(chǎn)品！
已獲得SEMI S2認(rèn)證！

Load Port：中文名：晶圓裝卸機(jī)、晶圓載入機(jī)，被安裝在EFEM* 前（設(shè)備前端模塊：Equipment Front End Module)，用來作為wafer進(jìn)出EFEM的窗口；用于工具自動(dòng)化的智能且靈活的工廠接口模塊； 支持卓越的可靠性和超凈性能；最大程度地實(shí)現(xiàn)交互操作性，無縫互換性和易于配置；與所有手動(dòng)或通過AMHS車輛交付的符合SEMI要求的FOUP和自動(dòng)前開式裝運(yùn)箱（FOSB）兼容；在搬運(yùn)過程中用來保持wafer的潔凈度。