晶圓校準(zhǔn)器,又名晶圓預(yù)定位系統(tǒng),英文Pre-aligner,本設(shè)備可實(shí)現(xiàn)高精度高效率的4-12寸晶圓Wafer的中心以及平邊(缺口)的預(yù)定位,服務(wù)于晶圓Wafer的傳送搬運(yùn)需求。
?晶圓校準(zhǔn)器的主要特點(diǎn):
1.適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備、檢測設(shè)備的晶圓位置預(yù)校準(zhǔn);
2.非接觸式預(yù)定位晶圓;
3.兼容SEMI標(biāo)準(zhǔn) 100~300mm晶圓&透明晶圓(中心無鏤空);
4.兼容SEMI標(biāo)準(zhǔn)Notch/ Flat;
5.兼容透明晶圓(選配);
6.可定中心及找Mark標(biāo)志;
7.讀碼位置:8-12寸可背面讀刻號,6寸以下僅正面讀刻號;
8.暫不支持中心有鏤空的晶圓;
9.SEMI S2認(rèn)證
廈門蚨祺自動(dòng)化設(shè)備有限公司,主要經(jīng)營范圍為LCD、半導(dǎo)體行業(yè)自動(dòng)化方案實(shí)施,視覺與光學(xué)檢測設(shè)備研發(fā)與制造,產(chǎn)品覆蓋晶側(cè)邊點(diǎn)膠機(jī)/視覺尋邊機(jī)/晶圓校準(zhǔn)器、Load Port/晶圓裝卸機(jī)/晶圓載入機(jī)、LCD、點(diǎn)膠設(shè)備、老化設(shè)備,檢測設(shè)備、自動(dòng)上下料設(shè)備、半導(dǎo)體EFEM設(shè)備,非標(biāo)客制化設(shè)備等。公司成立于2014年,注冊資本2000萬元。廠房面積總共3500㎡,其中潔凈車間1500㎡,加工中心1000㎡,辦公區(qū)域1000㎡,是一家集研發(fā),生產(chǎn),銷售和服務(wù)為一體的國家高新技術(shù)企業(yè)。