Load Port：中文名：晶圓裝卸機(jī)/晶圓載入機(jī)，是廈門蚨祺自動(dòng)化設(shè)備有限公司自主研發(fā)的一套智能自動(dòng)化設(shè)備系統(tǒng)，有助于企業(yè)搬運(yùn)和傳送作業(yè)。

?Load Port（晶圓裝卸機(jī)/晶圓載入機(jī)）有以下主要特點(diǎn)：
1.適用卡塞規(guī)格(Cassette Type): 8” Cassette & 12” 25 slot Wafer FOUP/FOSB SEMI E1.9 / M31；
2.放置標(biāo)準(zhǔn)(Mounting): SEMI E63；
3.開啟方式(Opener Type): SEMI E62 / Front open ；
4.平臺(tái)高度標(biāo)準(zhǔn)(FOUP/FOSB Load Height): SEMI E1.5 / E63；
5.內(nèi)置凸出檢測(cè)；
6.RFID自動(dòng)識(shí)別；
7.操作安全防護(hù)報(bào)警；
8.封閉式作業(yè)環(huán)境

?Load Port（晶圓裝卸機(jī)/晶圓載入機(jī)）的主要配置：
載臺(tái)移載單元；
自動(dòng)開蓋單元；
RFID讀取單元；
安全防護(hù)系統(tǒng)；
運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)；
模塊化設(shè)計(jì)。